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摘要 hn\d{HP , fqM>Q 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 J Vxja<43 Gs,e8ri!
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B?yj U[/R 光柵詳細(xì)說(shuō)明 M < .1U?_#
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 I>##iiKN Od ^Sr4C •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 z&Aya*0v` •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問(wèn)該參數(shù)。 y. 1F@w| fms(_Q:R? 光柵階次分析器設(shè)置 C J7S5 =9W\;xE S •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 %n GjP^ •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 ||.Hv[
]V* •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 4=EA3`l ``I[1cC
 T I t\ 0 q 1x+ 常規(guī)設(shè)置 T ,jb%uPcE
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 /AyxkXq +GL$[ 5G •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 F3]VSI6^E, •另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 "^!y>]j#A p Pag@L 單個(gè)階次設(shè)置 k`A39ln7wu (x?T jyzw
 (vX< B h Pqw<nyC. •在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 kU=U u> •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來(lái)分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。 IGT9}24 q mv 0
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