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摘要 4COf H7Al9 +li^0+3-' 掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。 =W|Q0|U ,6buo~?W:
 GKd>AP_ 3CHte*NL= 建模任務(wù) F_Pd\A q8
#129 i2 )w` Nkx 仿真干涉條紋 XbOL/6V ^[ j5)qF1W, r#}Sy \ 走進(jìn)VirtualLab Fusion z*[Z: 5UM [Iz  <C{5(=X{ y d$37G|n VirtualLab Fusion中的工作流程 j&mL]'Zy 5~X%*_[], •設(shè)置輸入場(chǎng) E>1 USKxn
−基本光源模型[教程視頻] vPs X!m[#
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 ?hu 9c
•定義元件的位置和方向 E{ ,O}
− LPD II：位置和方向[教程視頻] %% >?<4t
•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 uR %H "f
−非序列追跡的通道設(shè)置[用例] yEny2q}
•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 G9[-|[j^N
−參數(shù)運(yùn)行文檔的使用[用例] Z 7/dRc
YBO53S]=  2 yZ6:U~ bcs!4 VirtualLab Fusion技術(shù) ]
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