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摘要 `5>IvrzXrK #'"h+[XY 高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對(duì)稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 Cu!4ha.e`
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+[*UC" 建模任務(wù) 6 0hf)er ;1"K79  8fdOV&&D~i 概述 tl#hC y J,I Op- •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 4}8Xoywi1 •接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 I]T-}pG C8(sH
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