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垂直腔面發(fā)射激光器 （VCSEL） 是一種特定的微型化半導(dǎo)體激光二極管。諧振腔通常由布拉格反射鏡（分布式布拉格反射器DBR）構(gòu)成，激光束發(fā)射垂直于頂部的表面。本教程案例展示了如何設(shè)置復(fù)雜的 VCSEL 幾何形狀，以及如何用其特有的 3D 模式輪廓、共振波長和質(zhì)量因子（Q 因子）高效的計(jì)算腔膜。該設(shè)置緊跟文獻(xiàn)中的案例（比恩斯特曼等人2001年發(fā)表的文章）。其結(jié)構(gòu)形狀是旋轉(zhuǎn)對稱的，因此您可以在圓柱坐標(biāo)系統(tǒng)中使用共振模式求解器來計(jì)算共振。 +dq&9N/
hNgbHzW 幾何體（由一個(gè)二維平面幾何形狀圍繞 y 軸旋轉(zhuǎn)以產(chǎn)生三維器件幾何結(jié)構(gòu)）和各種網(wǎng)格生成參數(shù)在文件layout.jcm中定義。在此特定情況下，所有層（DBR、激發(fā)層、光圈層、腔層）都在絕對坐標(biāo)中定義為多邊形，精度低于納米量級。 ,l^; ZE
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