左圖:角分辨光散射測量儀ALBATROSS;右圖:532 nm濾光片在不同波長下的ARS分布。
lg jY\? 系統(tǒng)簡介 `3UvKqe
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t]=-@ ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一個大型的測量樣本反射光,透射光,以及散射光分布的實驗室測量系統(tǒng)。其特點是對角度的靈敏度高,并且該系統(tǒng)可以測量三維空間中的散射分布。被測樣本包含光學(xué)和非光學(xué)表面以及其他光學(xué)材料和光學(xué)元件。其光源系統(tǒng)為變頻OPO激光,也可測量光散射的光譜特性。 /q`f3OV" &#]||T- 特征及技術(shù)參數(shù)
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baf@"P9@\A - 可測量參數(shù):散射光(角分辨散射ARS,雙向反射分布BRDF, &G+:t)|S - 雙向透射分布BTDF,散射損耗),θ-2θ測量,反射,透射。(3D) KH[Oqd - 入射光與探測器可共面或異面。 E{}eYU - 入射角,散射角(方位角和極角)以及光源的偏振態(tài)均可調(diào)整。 x C>>K6Nb - 可對樣品進行掃描。 &gvX<X4e - 動態(tài)范圍: 13個數(shù)量級。 UWBR5 - 最低ARS級別:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 |Gb~[6u - 對粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 M""X_~&I" - 波長范圍:225 nm 至 1750 nm (光譜帶寬<0.05 nm)。 072`i46 - 樣本規(guī)格:最大尺寸直徑700mm。 )|S!k\^A - 方便操作的測量及分析軟件。 7I6&*I - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 PF;`mdi-, LoS%FI 應(yīng)用 G9>
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