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`W/6xm(X5; 1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 SY{J 2.測(cè)量樣本。 X(1.Hjh 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測(cè)量結(jié)果。 Comuc 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測(cè)量結(jié)果比較 (樣本:1.-Mo/Si-鏡子,2-Ti-膜,3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面)。 y3xP~]n `ybZE+S. 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 44]ae~@a |)lo<}{ 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,對(duì)于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測(cè)量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測(cè)量表面粗糙程度。它具有非接觸式測(cè)量,快速測(cè)量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 E>[~"~x"pV oNdO@i%.q4 特征及技術(shù)參數(shù) ' ZB%McS nQgn^z# - 可測(cè)量參數(shù):粗糙度相關(guān)一系列值 (例如PSD,傾斜度等等),3D下散射光分布,檢測(cè)是否各項(xiàng)同性等。 1|%$ie - 靈敏度R_q<0.5 nm qzG'Gz{{qu - 測(cè)量時(shí)間: < 1 s。 ]F_u - 與輪廓儀直接相連——測(cè)量結(jié)果可直接比較。 N
Lo>"<Xb S}|ea2 8=e\^Q+ 傳感器: b!N`@m= kfHLjr. Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的,便于移動(dòng)的光學(xué)傳感器。它以散射測(cè)量為基礎(chǔ),用于測(cè)量表面粗糙程度。測(cè)量范圍可從微米級(jí)到亞納米級(jí)。 (O&b:D/Y QR#,n@fE 應(yīng)用: E6US @3G3l|~> 可在下列領(lǐng)域中進(jìn)行快速,不受周圍環(huán)境干擾的質(zhì)量檢測(cè): m:H )b{ - 平面或復(fù)雜(自由形狀)表面。 z C``G<TB - 光學(xué)加工(表面加工,鍍膜,制作模具等)。 D/)xe: - 機(jī)械零件。 +yTL - 汽車工業(yè)。 isN"7y|r:X IQ|~d08} {4I
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