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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-08-10
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運(yùn)行中（Parameter Run）進(jìn)行分析。 2`-Bs  
    w!XD/j N  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運(yùn)行（Parameter Run） }-2|XD%]  
    s#GLJl\E_P  
    所需工具：Grating Toolbox Basic 7|H$ /]  
    {4PwLCy  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 'c~4+o4co  
    建模任務(wù) H,NF;QPPC  
    Vt ohL+  
    理想平面波照射 H;"4 C8K7  
    h yIV.W/  
    phz&zl D  
    `H+ lPM66  
    & nK<:^n  
    yDh6KUK  
    鍍膜傾斜光柵 2Z%O7V~u  
    目標(biāo)平面 WY]s |2a  
    Ea=P2:3*  
    周期：10um yh=N@Z*zP  
    厚度：10um Xnh8e  
    傾斜角度：20度 *lb<$E]="!  
    :zR!/5  
    光柵的參數(shù) 6H|S;K+  
    )pn3~t<e d  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) fXB0j;A  
    S,=|AD  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì) BJ0?kX@  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 IR bfNq^:  
    —光柵厚度 ,z?':TZ  
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