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    [討論]8微米氟化鎂膜成膜問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線starofage
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-08-12
    關(guān)鍵詞： 氟化鎂
    最近功能性需求需要鍍8微米的氟化鎂膜，用的電子槍蒸發(fā)，鍍完后表面全部像雪花一樣掉膜，是什么原因啊？有什么改善方法？
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2021-08-19
    氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點(diǎn)，溫度高一點(diǎn)。
    離線a013109425
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-08-21
    是否鍍膜真空過高
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2021-08-24
    make一下
    離線starofage
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-08-27
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點(diǎn)，溫度高一點(diǎn)。 (2021-08-19 20:59)  x~nQm]@`h  
    `[&v  
    是基片溫度高點(diǎn)嗎？我加的300°
    離線starofage
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2021-08-27
    回 a013109425 的帖子
    a013109425:是否鍍膜真空過高 (2021-08-21 17:13)  Q.*'H_Y  
    Y7*'QKz2  
    真空度1-2x10-3pa
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2021-10-19
    這個(gè)材料用的少不清楚
    離線fly6947
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2022-01-04
    MGF2應(yīng)力太大了  超過2um風(fēng)險(xiǎn)就比較大，溫度降低，用阻蒸做，可適當(dāng)改善
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