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    [求助]關(guān)于磁控濺射 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-03-11
    磁控濺射的靶在用一段時間之后,在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍(lán),尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶,請問是怎么回事?還有濺射鍍膜的均勻性不好,有什么可以改善的方法嗎?
     
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