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    [技術(shù)]JCMSuite應用—衰減相移掩模 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-15
    在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示： H@Ot77(*  
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