本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 2K/4Rf0; 關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 m[~y@7AK< 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請(qǐng)一段全版本的試用。 .SU8)T 相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 K0|FY=#2y 建模任務(wù) "*e$aTZB\ kTOzSiq
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照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 ^BikV
建模任務(wù)
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<lPm1/8 2 擴(kuò)散器參數(shù): )Q&(f/LT —相位層:4 Z&+ g;(g —像素尺寸:830*830nm `EA\u]PwQ —口徑:1*1mm ) j#`r/ —周期:664,83*664,83um `ts$(u.w 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 "c%0P"u 2 需要的高度分布計(jì)算 9<6;Hr,>G 2 蝕刻掩模分解 {HltvO%8 2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 :+^lJ&{U 打開(kāi)光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng) Q4#m\KK;i9 ;"5&b!=t
?jv/TBZX4 &N^9JxN?8 2 上載
文件 %S960 DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd.
_^Ubs>d=* 2 文件在VL_Samples文件夾中
NvceYKp: 光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng)
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