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[技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0）

應(yīng)用案例概述

系統(tǒng)細(xì)節(jié)

 光源
– 綠光二極管
 元件
– 雙軸振鏡掃描儀
– F-Theta物鏡
 探測器
– 場曲和畸變探測器
– 光束強度剖面探測器
– 焦點區(qū)域探測器
– 光束參數(shù)探測器