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測量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) ZFA`s
qT UBv,=v 應(yīng)用示例簡述 nyX2|m& On8v//=& 1. 系統(tǒng)說明 k6;?)~. TeMHm?1^ 光源 eJrQ\>z]V& — 氦氖激光器(波長632.8nm;相干長度>1m) J9..P&c\ 元件 ^8]NxV@l — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),位相延遲器,待測球面透鏡 kPKB|kP\ 探測器 Je';9(ZK — 干涉條紋 %gInje 建模/設(shè)計(jì) hE &xE; — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 _Ym]Mj' ln — 幾何場追跡加(GFT+): 9G9t" { 計(jì)算干涉條紋。 'HO$C,1] 分析對齊誤差的影響。 @Y?#Sl* -r!. 9q 2. 系統(tǒng)說明 b\ X@gq
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