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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個(gè)兩步優(yōu)化。此外,對(duì)圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 PE4#dx^ $-H#M]Gq 1. 建模任務(wù) w~wpm7 {s&6C- g)c<\% 2. 建模任務(wù):介質(zhì)參數(shù) 8Ux3,X= O>9+tQ |