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    [技術(shù)]抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-26
    案例514(2.0) z}Z`kq+C  
    68HX,t  
    該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進行了研究,并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 phc1AN=[E  
    40#KcbMa|  
    1. 建模任務(wù) 4*+EUJ|  
    G wW#Ww;Oc  
     對全部反射光進行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化。 Z@[,"{Sn  
    -YuvEm#f  
     假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵
    DYWC]*  
    2. 建模任務(wù):3維平頂錐 Y;&#Ur8q  
    i9xv`Ev=R  
    3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 dJLJh*=AG  
    lTB!yF.r|  
    6#KI? 6  
     VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計。 oba*w;  
    '!2t9B8XX  
     例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 %7d"()L  
    q9 ;\B&  
     可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
    7k\7G=  
    4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 'u3+k.  
    ?:FotnU*p  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): Pu^~]^W)  
    1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) *(`.h\+  
    2. 底部直徑:125nm iCK$ o_`?  
    3. 周期尺寸:125nm &tgvE6/V  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù): lBn*G&(P  
    1. 高度(頂圓直徑=30nm) vUK>4^{J5  
    2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 jkP70Is  
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