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案例514(2.0) z}Z`kq+C 68HX,t 該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外,對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進行了研究,并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 phc1AN=[E 40#KcbMa| 1. 建模任務(wù) 4*+EUJ| GwW#Ww;Oc 對全部反射光進行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進行優(yōu)化。 Z@[,"{Sn -YuvEm#f 假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 DYWC]* 2. 建模任務(wù):3維平頂錐 Y;Ur8q i9xv`Ev=R 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 dJLJh*=AG lTB!yF.r| 6#KI?
6 VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計。 oba*w; '!2t9B8XX 例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 %7d"()L q9
;\B& 可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。
7k\7G= 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 'u3+k.
?:FotnU*p 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): Pu^~]^W) 1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) *(`.h\+ 2. 底部直徑:125nm iCK$ o_`? 3. 周期尺寸:125nm &tgvE6/V 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): lBn*G&(P 1. 高度(頂圓直徑=30nm) vUK>4^{J5 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 jkP70Is 3EZw
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