案例315（3.1） TAoR6aE F7l:*r,O 該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 MW> 28
EZfa0jJD 1. 線柵偏振片的原理 [ LDzR7vnf `R?W @,@' 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 xJGeIh5
2. 建模任務(wù) .u?$h0u5
PCfs6.*5Mf
* v]UgP k
全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 ][1u:V/
U
偏振元件的重要特性： 4T E ?mh}
偏振對(duì)比度 9v2 ;
透射率 r2'rf pQ
效率一致性 2:F
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) _If?&KJ r T+D]bfjr&& 3. 建模任務(wù)： 34:EpZO@
x-z方向(截面) x-y方向(俯視圖)
[0#hgGO]P 4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) !l^A Kn|
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