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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 Lu~e^Ul
pP'-}% 1. 簡(jiǎn)介 lE54RX}e4
A/U tf0{3" 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 Wb4%=2Qn
[^gSWU 2. 摘要 pr-{/6j6
JHf}LZu 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級(jí)次的多光束。 k*4?fr 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 K6 ,5C0 3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對(duì)于大的衍射角度和波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特征尺寸是無(wú)效的。 b*
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