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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 -SQJH}zCT+
i!SW?\ 1. 簡(jiǎn)介 FylWbQU9
2I]]WBW#: 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 vx\nr8'k
Wj&<"Z6'm( 2. 摘要 &\[Qm{lN
6P%<[Z 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級(jí)次的多光束。 '?{0z!! 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 ;f".'9 l^ 3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對(duì)于大的衍射角度和波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特征尺寸是無(wú)效的。 mD
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