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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 <&)v~-&O
iNMx"F0r 1. 簡(jiǎn)介 JxyB(
hYawU@R 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 3sd"nR?aX
)7_"wD`
z 2. 摘要 `^lYw:xA
m&| `x 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級(jí)次的多光束。 ~|<m,)! 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 uc|45Zxt 3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對(duì)于大的衍射角度和波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特征尺寸是無(wú)效的。 CbN!1E6) .
4) 該教程主要示范： WxF:~{ 利用迭代傅里葉變換算法對(duì)高數(shù)值孔徑1：6光束分光器的優(yōu)化。 j <o3 JV 利用傅里葉模態(tài)法對(duì)光束分束器進(jìn)行嚴(yán)格的電磁場(chǎng)分析。 #-h\.
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