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    [技術]檢查微型晶片的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-15
    任務/系統(tǒng)說明 z;Fz3s7  
    FQ`1c[M@  
    *+2_!=4V  
    ;Bj&9DZd  
    亮點 u86PTp+  
    aDxNAfP  
    uOy/c 8`  
    x(R;xB  
     在復雜光學系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數值孔徑(NA)) ^;.u }W  
     嚴格分析光柵衍射效率 ( ^@i(XQ  
     考慮入射光的方向分布