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    [技術(shù)]導(dǎo)出制造數(shù)據(jù) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-12-27
    任務(wù)說明 UmQ?rS8d  
    49w=XJ  
    JvT"bZk( o  
    `.x Fiyc  
    靈活地導(dǎo)出制造數(shù)據(jù): pb$~b\s]=  
    - 平滑的界面 }w1~K'ck}>  
    - 量化界面 uwjGDw  
    - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 rxy&spX  
    Q)LM-ZJKQ  
    亮點(diǎn) mL_j4=ER@  
     導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) 6Qx#%,U^ J  
     導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 %7gkNa  
         uU:CR>=AKW  
    FKT1fv[H  
    一般界面的制造數(shù)據(jù) _ h": >  
    <_XWWT%  
    'ul~7h;n  
    -$WYj "  
    支持文件格式: Nqrmp" ]  
    - 純文本 x >^Si/t  
    - ASCII碼 <~n$1aA  
    - 點(diǎn)云 H8`(O"V  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) 9M1d%jT  
    OBP1B@|l$+  
    STL導(dǎo)出平滑界面(例如Asphere) w );6K[+;  
    4y5UkU9|  
    采樣高度剖面的STL導(dǎo)出 R hvfC5Hq  
    k:#P|z$UD  
    V`7FKL@"  
    WN_pd%m  
    量化界面的GDSII導(dǎo)出 `zE}1M%y  
     量化的界面數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到GDSII的文件格式。 >$,y5 AJ&  
     這個(gè)文件格式主要是用于,如光刻曝光技術(shù)。 ]s GHG^I6  
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