近期，中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室在透明導(dǎo)電氧化物（Transparent Conductive Oxides，TCO）薄膜的飛秒激光圖案化加工研究方面取得新進(jìn)展。研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)對(duì)飛秒激光能量密度的控制實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜表面形貌的有效調(diào)控，揭示了飛秒激光圖案化加工過(guò)程中薄膜表面形貌的激光能量密度依賴規(guī)律及形成機(jī)制，并提出了一種簡(jiǎn)便而準(zhǔn)確的確定飛秒激光工藝參數(shù)的單脈沖激光測(cè)量方法。相關(guān)成果發(fā)表在《光學(xué)快訊》（Optics Express）上。 WtM%(8Y[]  
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