設備為德國萊寶加APS離子源，在k9基底上使用sio2和ta2o5設計了可見區(qū)+1540nm雙波段減反膜，理論上在可見區(qū)有三個波峰，且平均剩余反射率小于0.5％，最大峰值0.7％左右，而實際測量曲線與理論相差非常大，波峰為4個，波峰最大值超過2％。sio2和ta2o5折射率以及tooling都校準過了。

AR膜好像從來沒有和設計一樣的。 H)$-T1Wx4  
慢慢用模擬軟件模擬著修吧。 T4`.rnzyRb  
E%M~:JuKd?  
先確定氧是足夠的（沒有失氧），先修敏感層。 I$4GM  

同意一樓說法 可以用TFC的Interactive Analysis 模擬看看是那一層影響

材料參數(shù)偏差、膜厚控制誤差、折射率不均勻等都會導致實測曲線和理論曲線間的偏差。

同樣的材料，厚度不同，tooling是不一樣的，一般來說100nm以下，越薄的層tooling越小，模擬看看吧

同意一樓說法

模擬確認哪一層或者哪個材料出現(xiàn)偏差了