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蛾眼減反結(jié)構(gòu)設(shè)計與加工承接
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發(fā)表于: 2022-02-17
蛾眼
結(jié)構(gòu)
可以減少反射率,原因在于:當
材料
表面
納米
結(jié)構(gòu)尺度小于光
波長
時,光波無法辨認出該納米結(jié)構(gòu),而圓錐型的蛾眼結(jié)構(gòu)可以使材料表面的
折射率
沿深度方向呈連續(xù)變化,從而減小折射率急劇變化所造成的反射。
C@ "l"
對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結(jié)構(gòu),需要對其進行嚴格的矢量計算和分析,通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及
參數(shù)
運行(New Parameter Run)和參數(shù)
優(yōu)化
(New Parameter Optimization)功能,可以實現(xiàn)不同
角度
以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結(jié)構(gòu)的設(shè)計。
}UqL2KXi4
目前,我們采用納米壓印技術(shù),可以在
玻璃
或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構(gòu),實現(xiàn)減反效果。在可見光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段,結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕
工藝
,可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構(gòu)來減少其對紅外光的反射。
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Za7!n{?0
U|v@v@IBA
上圖:VirtualLab Fusion設(shè)計的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)
D'Uv7Mis
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下圖:加工出來的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)
圖片:4d9e47a0af3da75cc0fab016878887d.jpg
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