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    [求助]鍍膜最外圈均勻性如何保證 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-04-27
    材料H4和MGF2最外 1f1J'du  
    圈5層均勻性相差較大 U"v}br -kb  
    14層均勻性相差不大。 s(I7}oRWsL  
    可能的原因？
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-05-06
    腔體漏氣，設(shè)備太臟，真空度不行
    離線gaofei555
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-06-20
    鍍膜工藝條件一致的前提下，修正板沒(méi)到位吧 BKm$H! u  
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-06-21
    是同樣的光斑參數(shù)不？是同樣的球罩不？是球罩上同一區(qū)域不？是同樣的修正板不？
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-08-21
    電子槍可能太靠邊緣了
    離線18844167969
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-08-29
    離子源能量分布不均勻
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