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    [求助]鍍膜最外圈均勻性如何保證 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-04-27
    材料H4和MGF2最外 rMHh!)^#W  
    圈5層均勻性相差較大 RgUQ:  
    14層均勻性相差不大。 0nL #-`S  
    可能的原因?
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-05-06
    腔體漏氣,設(shè)備太臟,真空度不行
    離線gaofei555
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-06-20
    鍍膜工藝條件一致的前提下,修正板沒到位吧 gd]S;<Jh  
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-06-21
    是同樣的光斑參數(shù)不?是同樣的球罩不?是球罩上同一區(qū)域不?是同樣的修正板不?
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-08-21
    電子槍可能太靠邊緣了
    離線18844167969
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-08-29
    離子源能量分布不均勻
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