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共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專利,后來以激光作為光源,現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過使用空間針孔來阻擋離焦平面散射或反射的光, 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中,我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描顯微鏡,并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測(cè)試對(duì)象來演示其工作原理。 q=J8SvSRl ukAE7O(W&
A4mnm6Tf ]iHSUP 2. 建模任務(wù) xV+cX*4h +*')0I 共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的,并且探測(cè)功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化? LPRvzlY= +p\+15
C"[d bh! ro8c-[V 3. 聚焦區(qū)域的探測(cè)場(chǎng) GX@=b6#- so]p1@K
Lt?k$U{qe) ebTwU]Nb 4. 來自測(cè)試對(duì)象的直接反射 d+iV19
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