從20世紀(jì)30年代開始，光學(xué)薄膜逐漸被廣泛應(yīng)用于日常生活、工業(yè)、天文學(xué)、軍事、宇航、光通信等領(lǐng)域，在國民經(jīng)濟(jì)和國防建設(shè)中起到了重大作用，因而得到了科學(xué)技術(shù)工作者的日益重視。而今新興技術(shù)的發(fā)展對薄膜技術(shù)不斷提出新的要求，又進(jìn)一步促使了光學(xué)薄膜技術(shù)的蓬勃發(fā)展。所以近年來，對光學(xué)薄膜的研究及其應(yīng)用一直是非常活躍的課題。 ,f&5pw =  
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一、光學(xué)薄膜的制備方法 &/Q0  
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在光學(xué)薄膜發(fā)展的歷程中，各種先進(jìn)的薄膜制備技術(shù)不斷應(yīng)用到光學(xué)薄膜制備的技術(shù)中。這些技術(shù)不僅大大拓寬了光學(xué)薄膜可以利用的材料范圍，而且極大地改進(jìn)了光學(xué)薄膜的性能和功能，進(jìn)而給光學(xué)薄膜提供了更為寬廣深遠(yuǎn)的發(fā)展空間。下面介紹幾種常見的光學(xué)薄膜制備方法。 NG6& :4!  
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1.物理氣相沉積法 )sT> i  
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物理氣相沉積法簡單地說，在真空條件下，采用物理方法，將材料源—固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子，并通過低壓氣體(或等離子體)過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)。 發(fā)展到目前，物理氣相沉積技術(shù)不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導(dǎo)體、聚合物膜等。之所以選擇高真空環(huán)境是因?yàn)楸∧げ牧显诔练e的過程中不會與空氣中的活潑氣體反應(yīng)，以及蒸汽分子在真空環(huán)境中不會與氣體分子碰撞，而是直接地到達(dá)基片。在實(shí)際薄膜沉積的過程中，需要控制的工藝參數(shù)非常多，通常涉及到真空技術(shù)、材料科學(xué)、精密機(jī)械制造、光電技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、自動(dòng)控制技術(shù)等領(lǐng)域。 T|TO 唐山市| 嘉祥县| 商都县| 怀集县| 新龙县| 高唐县| 肥城市| 洞口县| 瑞金市| 万全县| 吴堡县| 伊金霍洛旗| 石台县| 方正县| 盐亭县| 彰化县| 青州市| 绍兴市| 江门市| 龙岩市| 依兰县| 玉龙| 沁阳市| 荔波县| 柳江县| 潜山县| 凤阳县| 静安区| 武定县| 沿河| 宾阳县| 海口市| 芜湖县| 大庆市| 汽车| 峨眉山市| 民和| 乐都县| 乌鲁木齐市| 博乐市| 浠水县|