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這是一個(gè)簡(jiǎn)單的二維光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形結(jié)構(gòu))、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 sQe GT)/|  
z:4_f:70  
光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度 `XpQR=IOMb  
后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。 ?xrOhA9  
SnR2o3r-Of  
參數(shù)掃描 Qz3Z_V4k9  
Ulx]4;uzf  
Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對(duì)入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級(jí)次的強(qiáng)度： x x4GP2  
yOt#6Vw  
在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,在一個(gè)固定的照明角度下，其中圖案寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下依賴關(guān)系 rlD!%gG2x