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>U 分析特定衍射級(jí)的衍射效率是
光柵結(jié)構(gòu)的典型建模任務(wù)。由于特征尺寸和周期較小，與使用的光
波長相當(dāng)，因此必須通過嚴(yán)格的方法計(jì)算效率。眾所周知的FMM或RCWA是解決此任務(wù)的一種常用算法，在VirtualLab Fusion中也可用。這種全矢量方法的結(jié)果是復(fù)數(shù)瑞利系數(shù)，它包含每階所需的所有場(chǎng)信息，從中可以獲得相應(yīng)的效率。VirtualLab Fusion中的光柵順序分析器幫助我們生成并以圖像方式顯示復(fù)雜光柵結(jié)構(gòu)（一維/二維周期）的所有信息。
/G{&[X<4U *&h6*zP? 
u/;_?zI 48H5_9>: 光柵規(guī)格 ]&' jP ^4RO LgO i3 •為了演示光柵階數(shù)分析器，使用了具有正弦光柵形狀的一維光柵以及多層光柵。
vNPfUEn A •操作中的層，提供高反射（HR）功能。
;,mBT[_ZO •光柵
參數(shù)在堆棧中設(shè)定，其通過光柵組件的編輯對(duì)話框中完成。
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9 光柵級(jí)次分析器設(shè)置 cO8`J&EK ]!]`~ Z/ 0BT; "B1 •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可使用所需的光柵級(jí)次分析器計(jì)算瑞利系數(shù)和相關(guān)衍射特性。
FK-}i|di •此外，各種輸出選項(xiàng)可用于顯示結(jié)果。
e',hC0&S •這是通過分析器的編輯對(duì)話框完成的，該對(duì)話框通過雙擊
光學(xué)設(shè)置視圖中的相應(yīng)元件顯示。
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Tavtr9L0XY j~X j 通用設(shè)置 'uws 9)#gtD M%J qw9e)
`3$ •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，您可以選擇分析透射或反射。
}m9S(Wal •此外，您可以指定光柵分析器輸出需要的文件。
F P .(E9 −級(jí)次收集：生成一種類型的文檔，該文檔提供視場(chǎng)/光強(qiáng)在級(jí)次中的分布方式的可視化表示，并包含以數(shù)字形式顯示的信息。級(jí)次收集是為傳輸和反射單獨(dú)生成的。有關(guān)級(jí)次收集文檔的更多信息，請(qǐng)參見下一張幻燈片。
k,a,h^ {}j −單級(jí)次輸出：激活菜單右側(cè)的“單級(jí)次”選項(xiàng)卡。（見下頁）
YN_X0+b3C −總和傳輸，吸收和反射：相應(yīng)的信息（即，能量在這三種效應(yīng)中如何分布，不進(jìn)一步將結(jié)果細(xì)分為單個(gè)光柵級(jí)次，而是作為總值）將顯示在
探測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中，或作為參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)
優(yōu)化的結(jié)果。
<u r KIu −極坐標(biāo)圖（角度）：生成另一個(gè)文檔，該文檔提供不同顯示光柵級(jí)次的可視化，其中顯示的角度對(duì)應(yīng)于級(jí)次的衍射角，半徑表示效率。這種類型的可視化僅限于單個(gè)平面。有關(guān)極坐標(biāo)圖文檔的更多信息，請(qǐng)參見下一張幻燈片。
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