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發(fā)表于: 2022-08-02
`s`C{|wv
在
衍射
光學(xué)
中,當(dāng)周期性
結(jié)構(gòu)
被準(zhǔn)直光照射時,可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結(jié)構(gòu)的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應(yīng)(用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔),它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應(yīng)用。
WDEe$k4.
% Cu.u)/+
利用快速
物理
光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術(shù),可以充分研究這種效應(yīng)及其應(yīng)用。請看下面的例子,在這些例子中,我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應(yīng)的基本
原理
,并更仔細(xì)地研究特定的光刻應(yīng)用,以產(chǎn)生
納米
結(jié)構(gòu)。
(S k#x
圓錐相位掩模版的泰伯
成像
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