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[技術]錐形相位掩模的Talbot圖像 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2022-08-02

在傳統(tǒng)的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態(tài)方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進行建模。可以檢測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現(xiàn)柱狀圖案，而在次要像平面中再現(xiàn)孔圖案。


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[技術]錐形相位掩模的Talbot圖像 [復制鏈接]