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    [技術(shù)]JCMsuite應(yīng)用:閃耀光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-08-15

    這是一維周期線光柵案例的一個(gè)變形。它的靈感來(lái)自閃耀光柵。在一維線柵的案例中,周期單元晶胞包含通過(guò)光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個(gè)寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

    光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。同時(shí)通過(guò)后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí),平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。

    S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

    P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

       
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