光學(xué)波導(dǎo)氣體
傳感器,簡(jiǎn)稱為“光波導(dǎo)傳感器”,實(shí)際光學(xué)波導(dǎo)就是通過(guò)
玻璃光波導(dǎo)面固定對(duì)某一種被測(cè)氣體有選擇性響應(yīng)的敏感試劑,來(lái)制作的
薄膜光波導(dǎo)氣體傳感器。首先利用離子交換法可以制備出
折射率平穩(wěn)變化的光波導(dǎo),然后通過(guò)玻璃基板表面附近結(jié)合比較弱的或可移動(dòng)的離子與玻璃表面的半徑較小離子進(jìn)行交換,可以形成折射率略高于基板的導(dǎo)波。
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C^D2Z6 _=] FJhO 接著將篩選具有一定選擇性的敏感
材料,通過(guò)旋轉(zhuǎn)甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波導(dǎo)表面,制作薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件,將薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件安裝在光波導(dǎo)檢測(cè)
系統(tǒng)中對(duì)氣體進(jìn)行檢測(cè),當(dāng)敏感層與被測(cè)氣體相互按觸時(shí),氣敏改變敏感薄膜的光學(xué)
參數(shù),進(jìn)而引起臨近波傳播模式的改變,導(dǎo)致輸出光強(qiáng)度的變化。
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D.!4i.)8} 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器架構(gòu)圖
2R!W5gs1< 那么光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器輸出光強(qiáng)度變化程度,與被測(cè)氣體濃度有關(guān),因此檢測(cè)輸出光強(qiáng)度的變化就可以獲得被測(cè)氣體濃度的有關(guān)信息。
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!=we7vK} 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器線性圖
yiOF& 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器模組介紹:
`FwAlYJK G!\xc 光學(xué)波導(dǎo)
原理氣體傳感器成型產(chǎn)品,通常都會(huì)用來(lái)集成光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器模組使用,這可以說(shuō)是傳統(tǒng)傳感器的一種升級(jí)版,其技術(shù)
工藝流程:第一節(jié)階段,在原始傳感器的基礎(chǔ)上升級(jí)增強(qiáng)信號(hào)放大。第二階段,嵌入數(shù)據(jù)處理、智能運(yùn)算、溫濕度補(bǔ)償?shù)裙δ埽赏昝澜鉀Q溫濕度環(huán)境影響等問(wèn)題。第三階段,通過(guò)信號(hào)轉(zhuǎn)換板將多個(gè)傳感器集成到一個(gè)(多參數(shù))模塊(模組)產(chǎn)品上,由此可形成一個(gè)整體化的氣體檢測(cè)系統(tǒng),滿足多氣體檢測(cè)的需求。
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V?l 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器適用檢測(cè)哪些氣體?
F0\ry "(t hG^23FiN 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器一般適用檢測(cè)一氧化二氮、臭氧、硫化氫、VOC、氨氣、一氧化碳、二氧化硫、二氧化氮、氯氣、氯化氫、三甲胺、氯化氫、六氟化硫、笑氣等氣體。