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摘要 LrsP4G  
P zzX Ds6  
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R5H UgI  
雙螺旋(DH) PSF工程在縱向上為三維成像提供了高分辨率，它可以通過在光瞳平面上增加一個帶有漩渦的相位掩膜來產(chǎn)生[Ginni Grover等，Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一種快速方便的方法來計算高NA顯微鏡系統(tǒng)小離焦的DH PSFs。這個用例說明了DH-PSFs在離焦約130nm時有明顯的變化。 i/,G=yA  
+wY3E*hU  
建模任務(wù) a+{YTR>0m  
;KbnaUAS8  

qWy{{A+  
~lzV=c$t  
在VirtualLab Fusion中構(gòu)建系統(tǒng) k(3s^B  
C' o4Su#  
系統(tǒng)構(gòu)建塊 'B8fc-n  
/ZvNgaH5M  
Z@RAdwjR`p  
M#=woj&[  
元件解算器 Bb}JyT  
 i/y+kL  
Yc"G="XP;  
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利用光線追跡進行幾何光學(xué)仿真 66[yL(*+  
hkRv0q.'  
結(jié)果：幾何光線追跡 kVe^g
]F  
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利用場追跡進行物理光學(xué)仿真 <;Qle  
7>9/bB+TL  
不同離焦像面的雙螺旋PSF Wa2V Z  
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