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在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時，這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。   6|%^pjX5  
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2. 建模任務(wù) m9%yR"g9  
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3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) *X%?3"WH8  
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4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) i:MlD5 F  
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5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) PY[Sz=[  
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6. 3D仿真與結(jié)果對比 .WxFm@]/\  
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