V,9cl,z+  
作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長(zhǎng)相比較時(shí)，這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析，用來(lái)比較兩種方法的結(jié)果。 <1pEwI~  
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我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來(lái)分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結(jié)果。 _rYkis^u  
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f-2c0Bi  
在VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。