掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測(cè)量的技術(shù)。 通過(guò)利用白光光源的低相干性，僅當(dāng)光程長(zhǎng)度差在相干長(zhǎng)度內(nèi)時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實(shí)現(xiàn)精確的顯微鏡測(cè)量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測(cè)量表面平滑變化的樣品。
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建模任務(wù) 0CZ:Bo[3  
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仿真干涉條紋 B7VH<;Z  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion hwPw]Ln/  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 0CWvYC%e  
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•設(shè)置輸入場(chǎng) h\$$JeSV]  
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•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 YDIG,%uv  
•定義元件的位置和方向 2bv=N4ly  
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•正確設(shè)置通道以進(jìn)行非序列追跡 )%`c_FL@N=  
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•使用參數(shù)運(yùn)行檢查影響/變化 3$9s\<j  
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