目前這邊分為直接式跟間接式兩種,一種是可以進(jìn)行膜厚補(bǔ)償,但是膜厚太厚的時(shí)候就會(huì)有偏移差, N;4tvWI
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間接式的相對(duì)地就會(huì)有一些tooling上的誤差,但是慢慢開始有廣波域的監(jiān)控方式出現(xiàn),如果你某些波長(zhǎng) $2l<X KT-
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不準(zhǔn)或特徵不夠的狀況下,可以鎖定其他波長(zhǎng)做監(jiān)控,光控技術(shù)還是在德國(guó)跟日本上,具體哪間就不特別 2u0C~s
+S!gS|8P
評(píng)論了. ESdjDg$[u
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