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    [求助]蒸鍍AS/AF的問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線danieltsai06
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-12-01
    機(jī)型:OPTORUN1850 &oJ=   
    AS膜厚15nm. l \~w(8g<A  
    外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度,但是內(nèi)圈都達(dá)不到,有什么改善方法嗎? tRU+6D <w  
    懇求指教!!!
     
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    離線xzaxd
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源抬高試一試?或者增加厚度
    1條評分光幣+1
    danieltsai06 光幣 +1 優(yōu)秀文章,支持! 2022-12-05
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 9\9:)q  
    如果蒸發(fā)源在靠門的位置,那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 Ua^#.K  
    -a:+ h\K  
    另外真空度也有關(guān)系,真空也會影響膜層分布。 )cnH %6X  
    你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸
    1條評分光幣+1
    danieltsai06 光幣 +1 優(yōu)秀文章,支持! 2022-12-05
    離線譚健
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    路過學(xué)習(xí)看看呢
    離線xiezhizhi
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2022-12-02
    學(xué)習(xí)看看呢
    離線danieltsai06
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2022-12-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 6*W7I- A  
    如果蒸發(fā)源在靠門的位置,那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
    另外真空度也有關(guān)系,真空也會影響膜層分布。 4%refqWK  
    你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36)  [2*?b/q3J  
    mz-sazgV  
    真空度是越低較好,還是越高較好?
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2022-12-07
    聯(lián)系我   YKWQAZWSX pB(|Y]3A  
    離線ouyuu
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2022-12-10
    回 danieltsai06 的帖子
    danieltsai06:真空度是越低較好,還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  INNTp[  
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