1、奇數(shù)型達(dá)曼光柵設(shè)計(jì) y1BgK>R  
以1*5分束比達(dá)曼光柵設(shè)計(jì)為例，分別以標(biāo)量衍射理論和矢量衍射理論來優(yōu)化設(shè)計(jì)，并且利用rsoft和virtuallab軟件來驗(yàn)證。 BN@,/m9OQ%  
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2i  
1）標(biāo)量衍射理論設(shè)計(jì) m
YNEz @  
運(yùn)用matlab編寫的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.3%，結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。 >sj bK%  
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圖片:2.jpg

         4?/7 bc  
  （a）達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)（坐標(biāo)已歸一化） %HSl)zEo>C  
                           3D)b*fPc  

圖片:23.jpg

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（b）達(dá)曼光柵衍射效率 5@XV6  
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2）矢量衍射理論RCWA算法設(shè)計(jì) \~X&o% y  
運(yùn)用matlab編寫的多種群遺傳算法進(jìn)行優(yōu)化，得到衍射效率為78%，非均勻度為0.9%，結(jié)構(gòu)圖和衍射圖如下所示。 135vZ:S  
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圖片:untitled.jpg

                               (G4'(6  
（a）達(dá)曼光柵結(jié)構(gòu)（坐標(biāo)已歸一化） /qxJgoa  
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圖片:untitled2.jpg

ZM~`Gd9K0E  
（b）達(dá)曼光柵衍射效率 9B)lGLL}q  
H/+{e,SW"  
3）rsoft仿真