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淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計算
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淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計算
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shenhan0701
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樓主
發(fā)表于: 2022-12-09
淀積角隨
鍍膜
機(jī)幾何
參數(shù)
的變化計算
@%G?Nht]o
計算不同位置處的淀積角大小隨
DOME的曲率半徑、工轉(zhuǎn)架高度、蒸發(fā)源距離中心的水平距離
等參數(shù)而引起的變化
Rj4C-X4=
1=7ASS9
圖片:1.png
R}cNhZC
M>[ A
[ 此帖被shenhan0701在2022-12-09 16:30重新編輯 ]
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淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計算.zip
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發(fā)表于: 2022-12-30
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2樓
發(fā)表于: 2022-12-31
蒸發(fā)角容易計算,考慮進(jìn)蒸發(fā)特性
%&yPl{
轉(zhuǎn)一圈積分
{V2"Pym?
再以傘架天頂為基準(zhǔn),歸一化。就得到厚度均勻性分布了。
~(ke'`gJ0-
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譚健
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3樓
發(fā)表于: 2022-12-31
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ouyuu
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4樓
發(fā)表于: 2023-01-06
這只是理想狀態(tài),
&sWr)>vs
實際上還要受真空度,離子源放氣影響的。
,Gt!nm_
不同電子槍的熔形也不同;熔形不同,材料不同,分布就不同。
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