淀積角隨鍍膜機(jī)幾何參數(shù)的變化計(jì)算 UOAL7  
計(jì)算不同位置處的淀積角大小隨DOME的曲率半徑、工轉(zhuǎn)架高度、蒸發(fā)源距離中心的水平距離等參數(shù)而引起的變化 {#X]D~;s+  
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圖片:1.png

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蒸發(fā)角容易計(jì)算，考慮進(jìn)蒸發(fā)特性 kU {>hG4  
轉(zhuǎn)一圈積分 oXxY$x*R1  
再以傘架天頂為基準(zhǔn)，歸一化。就得到厚度均勻性分布了。 ~7$4w# of0  

學(xué)習(xí) 不斷進(jìn)步

這只是理想狀態(tài)， =,])xzG%  
實(shí)際上還要受真空度，離子源放氣影響的。 OABMIgX  
不同電子槍的熔形也不同；熔形不同，材料不同，分布就不同。 Oe/&Ryj=mm  
哪怕是同一種材料，不同的蒸發(fā)速率，分布也是不一樣的。

左邊曲線圖標(biāo)表示什么 M/mm2?4  

學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

只是理論計(jì)算，跟電子槍，真空，抽速，溫度影響很大

學(xué)習(xí)  好資料

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