基于激光干涉儀技術(shù)的精密線性測量系統(tǒng)數(shù)控機床因為高精度、高效率、多功能等優(yōu)點,廣泛應(yīng)用于各行業(yè)中。為了保證機床的加工精度,需要用到激光干涉儀對它們做定期精度檢查,這樣才能保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量。線性測量是激光干涉儀用來檢定機床定位精度的一種常見測量。 線性測量構(gòu)建 進行線性測量需使用到“線性干涉鏡”(由分光鏡和角錐反射鏡A組 成)和“線性反射鏡”(角錐反射鏡B)。激光從SJ6000主機(激光頭)出射,通過分光 鏡后將分成兩束激光,一束激光為通過角錐反射鏡A的參考光,另一束激光為通過角錐反 射鏡B的測量光,通過移動“線性反射鏡”可實現(xiàn)運動軸的線性測量。 線性測量原理構(gòu)建圖 水平軸的線性測量示意圖 垂直軸的線性測量示意圖 SJ6000激光干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可以輸出高精度、抗擾力強、高穩(wěn)定性的激光頻率。其線性測量可滿足(0〜80)m范圍內(nèi)的精密測量,主要應(yīng)用于測量直線導(dǎo)軌的定位精度、重復(fù) 定位精度和反向間隙等。 |




