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[討論]關(guān)于高速超精密激光干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-02-17

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機(jī)樣機(jī)集成研制和性能測(cè)試，意味著我們離光刻機(jī)又近了一步。