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[求助]關(guān)于ALD鍍SiO2薄膜后，薄膜性能如何？ [復(fù)制鏈接]

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-03-27

關(guān)于ALD鍍SiO2薄膜后，薄膜性能如何？例如在電學(xué)性能，折射率、消光系數(shù)以及鍍膜后應(yīng)力等方面的性能。

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