Ito蒸鍍條件，功率，氣體導(dǎo)入，有什么標(biāo)準(zhǔn)？大神們

Ito蒸鍍條件，功率，氣體導(dǎo)入，有什么標(biāo)準(zhǔn)？大神們

yzhuang:一般情況下基底溫度越高透過(guò)越高，阻值越大，充氧流量越大，透過(guò)越高，阻值越大，厚度變化會(huì)導(dǎo)致透過(guò)率周期性變化，這個(gè)根據(jù)試驗(yàn)確定即可 (2023-03-30 10:16)  &#\7w85$  

!rmo*-=^=  
所以透過(guò)和電阻是魚(yú)和熊掌。如果希望透過(guò)高電阻小

一般情況下基底溫度越高透過(guò)越高，阻值越大，充氧流量越大，透過(guò)越高，阻值越大，厚度變化會(huì)導(dǎo)致透過(guò)率周期性變化，這個(gè)根據(jù)試驗(yàn)確定即可