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    [求助]低溫TI3O5  SIO2。RF輔助鍍膜。膜強(qiáng)度差。什么原因造成? [復(fù)制鏈接]

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    離線repent134
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-03-30
    成膜后破壞鍍膜表層,用擦拭液擦拭膜層延展性比較大
     
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    離線yzhuang
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    這個(gè)Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧,建議150℃以上,低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想,如果想低溫成膜,高折射率材料用Ta2O5可能更好一些 dXKv"*7l  
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    flyinlove79 光幣 +1 - 2024-03-04
    離線repent134
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    主要SIO2打底層,掉膜也是掉到了基板
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2023-03-30
    離子源&充氧&電子槍速率方面看下
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2023-03-31
    建議測(cè)一下溫度
    離線石前林
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2023-03-31
    基片是否干凈,擴(kuò)散泵是否返油,第一層速率及離子源參數(shù) dBY,&=T4p  
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    flyinlove79 光幣 +1 - 2024-03-04
    離線ouyuu
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2023-04-08
    1,注意一下清洗,必要手擦幾片做比較。 ,u|vpN  
    2,鍍膜前用離子源清洗,用質(zhì)量大的Ar,多打一陣子。 ?DEj| i8  
    3,基板如果是玻璃就加到150度以上, > TG:}H(J  
    如果是塑膠,用鹵素?zé)艏訜幔ú灰眉訜峤z) j+Nun  
    RE`XyS0Q  
    其他的上面的都講過(guò)了,其實(shí)工藝參數(shù)很重要。 mM"!=' z  
    如果是塑膠片,加熱很重要
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    flyinlove79 光幣 +1 - 2024-03-04
    離線jimmy_
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2024-02-19
    請(qǐng)教一下為什么加熱不能用加熱絲,光馳機(jī)里好像沒(méi)有鹵素?zé)?
    離線ouyuu
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2024-02-20
    回 jimmy_ 的帖子
    jimmy_:請(qǐng)教一下為什么加熱不能用加熱絲,光馳機(jī)里好像沒(méi)有鹵素?zé)?span style="color:gray "> (2024-02-19 17:21)  &yN@(P)  
    7k}[x|u  
    因?yàn)樗苣z片導(dǎo)熱不行。 E]V:@/(M'  
    加熱絲最初加熱的是片子背面,熱量靠傳導(dǎo)再到鍍膜面, 7H~StdL/>  
    一個(gè)是升溫慢,一個(gè)是均勻性差。 0TK+R43_  
    而鹵素?zé)粽丈涞氖清兡っ妫郎貢?huì)比較快,而且溫度的均勻度也好。 _3- 高碑店市| 依兰县| 平顺县| 黄平县| 麦盖提县| 天台县| 荣昌县| 淮安市| 红桥区| 磐石市| 岳池县| 河东区| 叙永县| 阿瓦提县| 岚皋县| 梁平县| 芮城县| 电白县| 中阳县| 乌兰浩特市| 柯坪县| 察雅县| 双江| 都匀市| 鲁山县| 鄂伦春自治旗| 民权县| 西林县| 乌审旗| 色达县| 兴安盟| 嵊泗县| 江安县| 大荔县| 洛浦县| 大宁县| 九寨沟县| 建阳市| 金山区| 桑植县| 上虞市|