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[求助]低溫TI3O5 SIO2。RF輔助鍍膜。膜強度差。什么原因造成？ [復制鏈接]

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離線repent134

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-03-30

成膜后破壞鍍膜表層，用擦拭液擦拭膜層延展性比較大

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離線yzhuang

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-03-30

這個Ti3O5成膜溫度一般不能太低吧，建議150℃以上，低溫成膜牢固度與吸收均不夠理想，如果想低溫成膜，高折射率材料用Ta2O5可能更好一些

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2024-03-04

離線repent134

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2023-03-30

主要SIO2打底層，掉膜也是掉到了基板

離線小時候_我很帥

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2023-03-30

離子源&充氧&電子槍速率方面看下

離線嚶?lián)糸L空

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2023-03-31

建議測一下溫度

離線石前林

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2023-03-31

基片是否干凈，擴散泵是否返油，第一層速率及離子源參數(shù)

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2024-03-04

離線ouyuu

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2023-04-08

1，注意一下清洗，必要手擦幾片做比較。
2，鍍膜前用離子源清洗，用質(zhì)量大的Ar，多打一陣子。