電子槍主要技術(shù)指標(biāo): `4?~nbz
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1、 電子束偏轉(zhuǎn)角:270°; |077Sf|
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2、 高壓輸出:-4KV ~ -10KV;輸出穩(wěn)定性小于±2%;紋波小于±5%; .T<=z
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3、 發(fā)射電流:0 ~ 1000mA(10KV時(shí)),穩(wěn)定性±2%; @}p2aV59
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4、 最大輸出功率:10KW; vy2Q g
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5、 燈絲電壓:8V ='ZRfb&
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6、 電子溯流變化率:±3% K%<j=c
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7、 可以使用的真空度:7x10-2~5x10-5Pa EF7+ *Q9
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8、 XY位置移動(dòng): ±20mm TNCgaTJ{h
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9、 XY掃描寬度: ±20mm 6*4's5>?D
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10、X掃描頻率:50Hz Y掃描頻率:500Hz 4'j
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此電子槍工作穩(wěn)定,運(yùn)行可靠,采用日本技術(shù)和進(jìn)口元件,槍頭為開(kāi)放式,電子束偏轉(zhuǎn)靠的是永磁鐵,槍體關(guān)鍵部件采用進(jìn)口原材料。開(kāi)放式結(jié)構(gòu)可以安裝任意多穴位、任意大直徑的坩堝,使用戶在選擇時(shí)非常方便。束流和高壓均是雙路反饋控制,以確保束流和高壓具有高穩(wěn)定性。束流和高壓的穩(wěn)定度遠(yuǎn)超過(guò)上述的指標(biāo),數(shù)字儀表在全量程范圍內(nèi)束流、高壓變動(dòng)不超過(guò)2個(gè)字,且高壓在束流調(diào)整中因有反饋穩(wěn)壓電路的作用不會(huì)變動(dòng)。掃描均勻、穩(wěn)定,使蒸發(fā)面平整,不會(huì)出現(xiàn)“扎坑”現(xiàn)象。 w{[=l6L m
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掃描光斑大小可以任意調(diào)整,形狀為方型,可根據(jù)用戶鍍膜工藝要求,蒸鍍高料和低料調(diào)整電子槍掃描光斑大小存儲(chǔ)在工控機(jī)內(nèi),在鍍膜時(shí)自動(dòng)提取掃描方式,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)鍍膜。有存儲(chǔ)掃描方式15種, =ph&sn$;L